日本NGK瓦狀加熱器H7G-21100-G/H7G-21200-G
日本NGK瓦狀陶瓷加熱器H7G-21100-G是一種采用氮化鋁(AlN)陶瓷材料制造的加熱元件,以其高導熱性、優異的電絕緣性和良好的等離子體抗性而著稱。該型號加熱器的主要用途集中在需要高精度溫度控制和高效加熱的工業領域,具體包括:半導體加工設備部件:利用氮化鋁陶瓷的高導熱性和等離子體抗性,作為關鍵部件進行加熱,適用于晶圓處理等場景。半導體薄膜沉積設備:通過電阻發熱體實現均勻加熱,保障晶圓表面的高精度化學反應,例如在化學氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)工藝中。

具體規格目錄型號如下所示:
H7G-21100-G 小型 125×65 100 100
H7G-21200-G 小型 125×65 100 200
H7G-22100-G 小型 125×65 200 100
H7G-22200-G 小型 125×65 200 200
H7G-22200-P 小型 125×65 200 200
H7G-22300-P 小型 125×65 200 300
H7G-22400-P 小型 125×65 200 400
H7G-22500-P 小型 125×65 200 500
H7G-32400-P 大型 250×65 200 400
H7G-32600-P 大型 250×65 200 600