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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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更新時間:2025-01-17 08:26:25瀏覽次數:22次
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Crystal12探頭.pdfXL12-INFICONCrystal12探頭(傳感器)自動晶體切換限度地延長生產時間INFICONCrystal12傳感器與INFICONIC6薄膜沉積控制器結合使用時,可自動更換其晶體,而無需中斷過程
Crystal12探頭.pdf
XL12-INFICON Crystal 12探頭(傳感器)
自動晶體切換限度地延長生產時間INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結合使用時,可自動更換其晶體,而無需中斷過程。晶體不穩定或失效時,IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉傳送帶發送信號,要求其立即將新晶體旋轉到位,從而實現持續沉積速率監控。為進一步最小化停工時間,可以將晶體預先加載到另一個可選旋轉傳送帶上,這樣,可以直接輕松快速地更換裝有失效晶體的旋轉傳送帶,從而限度縮短系統打開的時間。
功能
裝有 12 顆晶體,可進行可靠的自動轉換,從而限度延長過程運行時間
易于拆卸的旋轉傳送帶允許快速更換所有 12 顆晶體
晶體轉換由空氣驅動完成(競爭產品是使用生熱電機),因而晶體溫度非常穩定
易于拆卸的前沉積罩保護晶體和旋轉傳送帶上不會積存材料,從而限度減少拆卸整個傳感器以進行維護的必要性
可選安裝后套件允許用戶根據公制硬件大小自行修改
INFICON VGC401,VGC402,VGC403真空計控制器
INFICON(英福康)CDG160D電容薄膜真空計
INFICONPSG550/PSG552/PSG554皮拉尼標準真空計
INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計
INFICON SKY CDG045D真空計
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