上海赫哲真空設備有限公司
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Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能，大的制程靈活性。 STP-L301(C) 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用，并得到了。
| 入口法蘭 | ISO100，CF100 |
| KF25 | |
| 吹掃口 | KF10 |
| 抽速 | |
| N2 | 260 ls-1 |
| H2 | 290 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| He | 5 x 105 |
| H2 | 2 x 104 |
| 加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭） | 6.5 x 10-6 Pa |
| | (5 x 10-8 Torr) |
| 加熱時的極限壓力（ICF 法蘭） | 10-8 Pa |
| | (10-10 Torr) |
| 大允許進氣口壓力（環境空氣冷卻） | 6.7 x 10-2 Pa |
| | (5 x 10-4 Torr) |
| 大連續壓力（環境空氣冷卻） | 13 Pa |
| | (0.1 Torr) |
| 額定速度 | 48000 rpm |
| 啟動時間 | 3 min |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 100 至 120 (± 10) V 交流或 |
| | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 啟動時的功耗 | 0.55 kVA |
| 泵重量 | 13 kg |
| 控制器重量 | 7 kg |
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